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等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓的污染雜質(zhì)和分類

等離子體清洗作為一種先進(jìn)的干式清洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保等特點(diǎn)。隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，等離子清洗機(jī)也在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越多。同時(shí)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)工藝技術(shù)的要求越來(lái)越高，特別是對(duì)半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)，其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會(huì)嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率，在目前的集成電路生產(chǎn)中，由于圓片表面沾污問(wèn)題，仍有50%以上的材料被損失掉。等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用等離子體清洗具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、沒(méi)有廢料處理和環(huán)境污染等問(wèn)題。但...

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等離子清洗機(jī)處理后時(shí)效性能保持多久？

今天小編給大家講講等離子清洗(處理)后時(shí)效性能保持多久?低溫等離子體技術(shù)是一種清潔且高效節(jié)能的新型材料表面改性技術(shù)。該技術(shù)在改善材料表面性能的同時(shí)，仍可保持本體性能的特色，在材料表面改性方面具有廣闊的應(yīng)用前景。低溫等離子體中高能粒子的能量一般約為幾至幾十電子伏特,大于聚合物材料分子的結(jié)合鍵能(幾至十幾電子伏特),完全可以使有機(jī)大分子鏈發(fā)生斷裂。經(jīng)過(guò)低溫等離子體處理的材料表面發(fā)生多種物理和化學(xué)變化,例如產(chǎn)生刻蝕,形成致密的交聯(lián)層以及引入極性基團(tuán),使材料的親水性、粘結(jié)性、染色性、...

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等離子清洗機(jī)可以去除油污油脂嗎？

等離子清洗機(jī)可以用來(lái)去除油污嗎，答案是：可以。清洗機(jī)能夠有效去除基底表面吸附的有機(jī)小分子以及油污。油脂污染物主要成分為碳?xì)浠衔铮入x子體中高能態(tài)原子團(tuán)自由基易與化合物分子結(jié)合形成新的不穩(wěn)定的自由基，新生成的自由基進(jìn)一步分解，在生成小分子的同時(shí)產(chǎn)生新的自由基，該過(guò)程持續(xù)進(jìn)行，油脂污染物中的碳?xì)浠衔锉贿@些活性氧原子所氧化，產(chǎn)生二氧化碳和水,從而實(shí)現(xiàn)油脂污染物的去除。等離子清洗機(jī)去除油污的常見(jiàn)應(yīng)用：引線框架表面油污去除：封裝前,通常釆用等離子清洗技術(shù)去除引線框架上由于沖壓工序產(chǎn)...

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臭氧檢測(cè)儀校準(zhǔn)方法有哪些？

校準(zhǔn)儀器校準(zhǔn)：采用紫外光法臭氧檢測(cè)儀對(duì)已生產(chǎn)的臭氧檢測(cè)儀進(jìn)行分布選取10個(gè)測(cè)試點(diǎn)對(duì)比，誤差范圍控制在+1%以內(nèi)為合格。化學(xué)滴定法：化學(xué)方法即碘化鉀、硫代硫酸鈉滴定法來(lái)檢測(cè)臭氧濃度。我們也分布選取10個(gè)測(cè)試點(diǎn)，然后用臭氧檢測(cè)儀與化學(xué)滴定法測(cè)試的10個(gè)點(diǎn)進(jìn)行對(duì)比，誤差范圍控制在+1%以內(nèi)。碘化鉀滴定法原理是用強(qiáng)氧化劑臭氧與碘化鉀反應(yīng),使碘游離出來(lái)到水里，水就會(huì)變?yōu)椴枭?。（反?yīng)式：O3+2KI+H2OO2+I2+KOH）利用硫代硫酸鈉標(biāo)準(zhǔn)液滴定，使游離碘變?yōu)榈饣c，反應(yīng)終點(diǎn)為水褪色...

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等離子清洗機(jī)會(huì)導(dǎo)致金屬表面被氧化嗎？

等離子清洗機(jī)會(huì)導(dǎo)致金屬表面被氧化嗎?答案是跟所通入的清洗氣體有關(guān)。等離子清洗的原理是在真空狀態(tài)下使電極之間形成高頻交變電場(chǎng)，區(qū)域內(nèi)氣體在高頻交變電場(chǎng)的激蕩下形成等離子體，活性等離子體對(duì)被清洗物進(jìn)行物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)雙重作用。等離子清洗機(jī)所通入的氣體按照作用原理可將氣體分為兩類，一類是氫氣、氧氣等反應(yīng)性氣體;另一類是氬氣、氦氣、氮?dú)獾确欠磻?yīng)性氣體。其中氫氣主要應(yīng)用于清洗金屬表面的氧化物，發(fā)生還原反應(yīng)。氧氣主要應(yīng)用于清洗物體表面的有機(jī)物發(fā)生氧化反應(yīng)。假如通入的氣體為惰性氣體如氬氣...

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細(xì)胞融合儀相比普通融合方法有哪些優(yōu)勢(shì)？

細(xì)胞融合儀比較適合用在細(xì)胞雜交、細(xì)胞融合、可在倒置顯微鏡下直接觀察，可以用在微生物學(xué)、動(dòng)物醫(yī)學(xué)、生物工程等方面的研究。與普通的化學(xué)融合方法比起來(lái)，它使用的時(shí)候?qū)?xì)胞沒(méi)有毒性、有較高的融合效率、更加的方便快速等特點(diǎn)都是比較明顯的?？蛇x購(gòu)各種平型電極和針型電極。當(dāng)細(xì)胞置于非常高的電場(chǎng)中，細(xì)胞膜就變得具有通透性，能讓外界的分子擴(kuò)散進(jìn)細(xì)胞內(nèi)，這一現(xiàn)象稱為電穿孔。運(yùn)用這一技術(shù)，許多物質(zhì)，包括dna、rna、蛋白質(zhì)、藥物、抗體和熒光探針都能載入細(xì)胞。作為一種基因轉(zhuǎn)導(dǎo)方法，電穿孔已被廣泛用...

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全自動(dòng)細(xì)胞計(jì)數(shù)儀的主要功能和優(yōu)點(diǎn)介紹

全自動(dòng)細(xì)胞計(jì)數(shù)儀是一款包含精密光學(xué)系統(tǒng)和圖像識(shí)別技術(shù)的高精密電子儀器。非染色計(jì)數(shù)模式，不需要任何染料即可識(shí)別活死細(xì)胞。標(biāo)準(zhǔn)4個(gè)區(qū)域計(jì)數(shù)使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更接近于真實(shí)值。細(xì)胞計(jì)數(shù)儀在一分鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成計(jì)數(shù)識(shí)別，結(jié)果包括：活細(xì)胞、死細(xì)胞和總細(xì)胞濃度、細(xì)胞的存活率、細(xì)胞的平均直徑、細(xì)胞的總面積、細(xì)胞的原始圖片和標(biāo)記圖、活死細(xì)胞的團(tuán)簇量和直徑分布圖、多種形式的報(bào)告單等。結(jié)果數(shù)據(jù)可以留檔回溯，作為生物實(shí)驗(yàn)的可靠據(jù)。全自動(dòng)細(xì)胞計(jì)數(shù)儀的主要功能和優(yōu)點(diǎn)：1、適用于多種大小和類型的細(xì)胞—計(jì)算細(xì)胞系、...

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等離子清洗機(jī)的氣體調(diào)壓方式及使用技巧說(shuō)明

壓縮氣體是現(xiàn)代工業(yè)必不可少的組成部分，工業(yè)中常見(jiàn)的壓縮氣體主要包括壓縮空氣(CDA)和瓶裝壓縮氣體。壓縮空氣被稱為第二動(dòng)力源，僅次于電力，而且還是一種具有多用途的工藝氣源。工業(yè)用的瓶裝壓縮氣體通常盛裝于管制氣瓶?jī)?nèi)，盛裝的氣體壓力通常在13-15MPa，其優(yōu)點(diǎn)是節(jié)約空間、安全且便于運(yùn)輸。壓縮氣體在使用時(shí)都會(huì)根據(jù)實(shí)際使用需求進(jìn)行減壓及穩(wěn)壓，那么等離子清洗機(jī)的氣體調(diào)壓方式有哪些，又有哪些使用技巧呢?氣體壓力控制是保證等離子清洗機(jī)正常運(yùn)行的重要參數(shù)之一，常見(jiàn)的氣體減壓有氣瓶減壓器、氣...

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