產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.      5寸彩色觸摸屏操作界面，采用45°傾斜角度設(shè)計(jì)，符合人體工程學(xué)，操作簡(jiǎn)單友好。

2.      PLC自動(dòng)監(jiān)測(cè)控制工藝參數(shù)，參數(shù)可存儲(chǔ)，手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式任意切換。

3.      艙門(mén)，流量計(jì)內(nèi)凹式設(shè)計(jì)，防止不小心磕碰損壞，更大氣美觀。

4.      松下高精度數(shù)字真空壓力表，實(shí)時(shí)檢測(cè)顯示艙體內(nèi)真實(shí)真空度，提供論文真實(shí)數(shù)據(jù)。

5.      氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)（MFC），可對(duì)多種氣體精準(zhǔn)控制。

6.      不銹鋼或石英真空艙體可選，艙體管路采用耐腐蝕材料。

7.      進(jìn)氣端口，氣體返填端口均配有HEPA高效過(guò)濾器，有效過(guò)濾空氣中污染顆粒及水分。

8.      真空泵配有油霧過(guò)濾器，可有效隔絕油氣溢散，保護(hù)實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

9.      使用成本低，無(wú)需進(jìn)行特殊維護(hù)，日常使用中保持儀器清潔即可。

10.    具備優(yōu)良的安全保護(hù)措施，射頻模塊溫度異常升高時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉電源，保護(hù)樣品，提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。

等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域，納米材料學(xué)，半導(dǎo)體，微電子，光學(xué)，電子學(xué)，微流控生物學(xué)，石墨烯，再造醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域

技術(shù)參數(shù)